热式气体质量流量计的选项注意事项及要求

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   热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的仪表,区别于其它气体流量计,不需要进行压力和温度修正,直接测量气体的质量流量。


   一、应用领域:


   1、半导体制造行业;


   2、分析仪器设备行业;


   3、各种形式的真空镀膜设备;


   4、环境检测与分析设备;


   5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业;


   6、特种材料表面处理装置与燃烧;

   7、混气配气系统和泄露探测系统等。

   二、热式气体质量流量计选型的时候需要注意一下几方面问题:

   1.通过的介质。热式气体流量计适用于各种气体,包括特殊气体和腐蚀性气体。以腐蚀性气体为例:腐蚀性气体通过流量计的时候如果流量计没有经过特殊处理过,会因为腐蚀性气体的特性,造成密封元件等方面的故障,从而影响到了流量计的正常使用,因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息,如全金属密封,耐氨橡胶等密封材质。另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。

   2.量程范围(或者称之为流量范围)。在流量计选型的时候,首先要确定所需流量计的量程问题,以HORIBAMETRON(堀场汇博隆)企业产品为例:企业产品以氮气(N2)来标定,如用其他气体时需要进行换算,非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。

   3.压力范围。HORIBAMETRON流量计耐压范围是3MPa, 压差范围为(0.05-0.3)MPa。3MPa以内无需任何补偿可直接安装使用;需注意的是有些行业需要在高压状态下工作,要明确压力范围是否满足。

   4.接口通径。选择接口时需针对管路状况进行选择,就目前而言以Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),软管接头Ф4mm~Ф10mm等为主 。

   5.供电电压和控制。以HORIBAMETRON流量计而言,供电电压有±15V和24V两种。控制接口有9针和15针的,也有9孔和15孔的。


   6.通信协议。相对于数字式流量计而言很多时候都会涉及到通信协议问题,以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet为标准,在选择时注意协议类型。备注(某些行业在选择流量计时模拟控制就可满足要求)需注意。


   7.其他相关问题请详细咨询厂家相关技术人员。


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